top of page
DEKAP Company Logo

DST3 - Triple Sputter Coater

DST3 - Triple Sputter Coater , bu üç katotlu sistem ile birçok malzemenin biriktirilmesi mümkündür.

Turbo moleküler pompalı, 3 katotlu masaüstü magnetron kaplama makinesi geniş malzeme seçeneklerini kaplamak için uygundur.


DST3, geniş bir hazne (300mm çap) ve üç adet 2 inch çapında su soğutmalı katot ile donatılmıştır. Bu sayede uzun süreli biriktirme yapabilir ve daha kalın filmler oluşturabilir. RF ve DC güç kaynakları sayesinde yarı iletkenleri, dielektrikleri ve metal (oksitleyici ve soylu) biriktirebilir.


Konfokal Püskürtme Kaplayıcı, RF Püskürtmede yansıtılan gücü en aza indiren, otomatik olarak ayarlanabilen bir eşleştirme kutusuyla donatılmıştır.


Filmin alt tabakaya yapışmasını arttırmak ve film yapılarını iyileştirmek için alt tabakaya 300 V DC ön gerilim uygulanabilir (isteğe bağlı).


Katotların durumuna göre DST3'ün iki modeli mevcuttur:

DST3-A (Angled Cathodes)

DST3-A, ortak odak noktasına sahip üç açılı katotla donatılmıştır. Sırasıyla alaşımlar veya çok katmanlı biriktirme oluşturmak için iki veya üç (isteğe bağlı) hedeften aynı anda veya bağımsız olarak püskürtme yapabilir. Bu modeldeki alt tabakaların maksimum boyutu 3 inç olabilir.


DST3-S (Straight Cathodes)

Üç adet düz 2 inçlik su soğutmalı katotlu DST3-S, çapı 20 Cm'ye kadar olan tek bir büyük numunenin veya birkaç küçük numunenin püskürtülmesi için uygundur.


Özellikler

Donanım
  • Dahili turbomoleküler pompa ile yüksek vakum seviyesi

  • İki kademeli döner kanatlı yedekleme pompası

  • Tam aralıklı vakum ölçer

  • Alaşımlı filmler (DST3-A) ve çok katmanlı biriktirme üretimi için uygun üç adet 2" su soğutmalı açılı magnetron katot

  • DST3-S için büyük numune tutucu aşaması (8 inç)

  • Büyük substratın tekdüze biriktirilmesi için tasarlanmış katot maskesi (DST3-S)

  • Büyük numune depolamaya uygun geniş hazne (300 mm çap)

  • Çok katmanlı ince filmler için hedef seçimi

  • Alaşım filmleri oluşturmak için birlikte püskürtme

  • Gerçek zamanlı kalınlık ölçümü için iki sabit ve hareketli kuvars kristal izleme sistemi (1 nm hassasiyet)

  • İki MFC aracılığıyla gaz enjeksiyon kontrolü

  • Elektronik gaz vanaları

  • Katot seçim motoru

  • Numune döndürme, yükseklik ve eğim ayarlanabilir (3 inçlik numune tutucular için)

    3 manuel veya elektronik (isteğe bağlı) shutter

  • Katot yönünde eğilme özelliğine sahip döner numune tutucu

  • Vakumu bozmadan sınırsız biriktirme süresi

  • Programlanabilir alt tabaka ısıtıcısı (isteğe bağlı)

    300 V DC alt tabaka ön gerilimleri (isteğe bağlı)

  • İki yıl garanti


Otomasyon
  • Kaplama işlemini ve hızlı veri girişini kontrol etmek için sezgisel dokunmatik ekran

  • Ağ üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım

  • Yarı-Tam otomatik kaplama prosesi (opsiyonel)

  • Otomatik modda tekrarlanabilir, programlanabilir püskürtme işlemi

  • DC/RF/Yüksek akım biriktirme parametreleri dokunmatik ekran paneli (isteğe bağlı) aracılığıyla ayarlanabilir.

  • Manuel veya otomatik Zamanlı ve Kalınlık biriktirme

  • Tekrarlanabilir biriktirmeler için kaplama tariflerini saklama

  • Çok katmanlı ince filmler için hedef seçimi

  • Elektronik shutter

  • Otomatik katot seçimi

  • Alt tabaka ısıtıcısının yazılım aracılığıyla programlanması ve kontrolü


Opsiyonel Özellikler
  • İletken ve iletken olmayan hedeflerin biriktirilmesi için RF püskürtme

  • Plazma temizleyici

  • 300 V DC alt tabaka bias voltajı

  • 500 °C alt tabaka ısıtıcısı

Dokunmatik Ekran


DST3, Üçlü Püskürtme Kaplayıcı, biriktirme işlemi verilerini kontrol etmek ve ayarlamak için kullanıcı dostu bir yazılım kullanan 7 inç renkli dokunmatik ekran paneliyle donatılmıştır. Vakum ve kaplama sırası bilgileri dokunmatik ekranda dijital veri veya eğriler halinde izlenebilmektedir. Geçmiş sayfasına son 300 kaplama bilgisi kaydedilir.


Temiz Vakum

Vakum odası, 300 mm dış çap ve 200 mm H ile Silindirik Pyrex'tir. DST3, Üçlü Hedef Püskürtme Kaplayıcı, 1,4 m3/saat diyafram veya 6 m3/saat iki kademeli olarak desteklenen, dahili olarak monte edilmiş 90 L/s Turbomoleküler Pompa ile donatılmıştır.


Numune Tutucu

Tutucu, 3 inç (DST3-A ve DST3-S'de mevcuttur) ve 8 inç (DST3-S'de mevcuttur) olmak üzere iki boyutta yapılmıştır, ancak kullanıcı ihtiyaçlarına göre özelleştirilmiş boyut sipariş edebilir. Küçük numune tutucuların üzerinde rotasyon sırasında küçük numunelerin basit bir yöntemle tutulması için çok sayıda kelepçe mevcuttur.


Plasma Temizleyici

DST3 isteğe bağlı olarak plazma temizleyiciyle donatılabilir. Plazma arıtma/temizleme, organik maddenin substratın yüzeyinden uzaklaştırılması veya plazma adı verilen iyonize bir gaz kullanılarak işlevselleştirilmesi işlemidir. Plazma işlemi, substrat yüzeyinin ıslanabilirliğini değiştirebilir ve daha sonraki etkili biriktirmeler için hidrofilikliğini veya hidrofobikliğini geliştirebilir. Ayrıca, ince film biriktirmeden önce alt tabakaya plazma uygulanması, yüzey kirlenmelerini (C bazlı, Oksitler) ortadan kaldırır ve alt tabaka ile sonraki katmanlar arasındaki adezyonu iyileştirir.


Özellikler

  • Metal, Yarı İletken ve Dielektrik Filmler

  • Nano ve Mikroelektronik

  • Güneş Pili uygulamaları

  • Eşzamanlı Püskürtme işlemleri

  • GLAD Püskürtme

  • Optik bileşen kaplama

  • İnce film sensörleri

  • Manyetik ince film cihazları

    SEM ve FE-SEM numune hazırlama için ince taneli yapısal biriktirme


Boyut ve Diğer Özellikler

  • Üst Vakum: 8×10-6Torr'dan az

  • Pompalama Hızı (l/s) 90 350

  • Nihai Basınç (Torr) 8×10-6 3×10-6

  • İnce taneli yapılar üretmek için her katot için bağımsız püskürtme kontrol oranı

  • Maksimum 6 mm hedef kalınlığı (destek plakası dahil)

  • Basınçtan bağımsız olarak biriktirme gücünün otomatik kontrolü

  • Mıknatısların ömrünü korumak için katot sıcaklıklarının otomatik güvenli kontrolü

  • Tam otomatik dokunmatik ekran kontrolü kullanılarak veriler hızla kaydedilir

  • Vakum basıncının ve Ar akışının veya reaktif püskürtme gazının hassas kontrolü için iki hassas Kütle Akış ölçer (MFC)

    350 l/s turbo pompa için elektronik kısma valfi

  • Kaplama parametreleri grafiklerini kaydeder ve çizer

  • Eğrileri ve biriktirme prosesi verilerini bir USB portu üzerinden PC'ye aktarır

  • 300V DC bias voltajı (isteğe bağlı)

  • Plazma temizleyici(isteğe bağlı)

  • 0-1200 V, 0-500 mA DC güç kaynağı

  • Otomatik eşleştirme kutulu 300 W RF güç kaynağı (isteğe bağlı)

  • Yardımcı Programlar: 220V-110V, 50/60HZ, 16/25A

  • Cihaz boyutları: 600 Genişlik × 800 Derinlik × 770 Yükseklik mm (Rafsız)

  • Net Ağırlık: 160kg (Pompa, Raf ve Alet çantası)