DST3 - Triple Sputter Coater
DST3 - Triple Sputter Coater , bu üç katotlu sistem ile birçok malzemenin biriktirilmesi mümkündür.
Turbo moleküler pompalı, 3 katotlu masaüstü magnetron kaplama makinesi geniş malzeme seçeneklerini kaplamak için uygundur.
DST3, geniş bir hazne (300mm çap) ve üç adet 2 inch çapında su soğutmalı katot ile donatılmıştır. Bu sayede uzun süreli biriktirme yapabilir ve daha kalın filmler oluşturabilir. RF ve DC güç kaynakları sayesinde yarı iletkenleri, dielektrikleri ve metal (oksitleyici ve soylu) biriktirebilir.
Konfokal Püskürtme Kaplayıcı, RF Püskürtmede yansıtılan gücü en aza indiren, otomatik olarak ayarlanabilen bir eşleştirme kutusuyla donatılmıştır.
Filmin alt tabakaya yapışmasını arttırmak ve film yapılarını iyileştirmek için alt tabakaya 300 V DC ön gerilim uygulanabilir (isteğe bağlı).
Katotların durumuna göre DST3'ün iki modeli mevcuttur:
DST3-A (Angled Cathodes)
DST3-A, ortak odak noktasına sahip üç açılı katotla donatılmıştır. Sırasıyla alaşımlar veya çok katmanlı biriktirme oluşturmak için iki veya üç (isteğe bağlı) hedeften aynı anda veya bağımsız olarak püskürtme yapabilir. Bu modeldeki alt tabakaların maksimum boyutu 3 inç olabilir.
DST3-S (Straight Cathodes)
Üç adet düz 2 inçlik su soğutmalı katotlu DST3-S, çapı 20 Cm'ye kadar olan tek bir büyük numunenin veya birkaç küçük numunenin püskürtülmesi için uygundur.
Özellikler
Donanım
Dahili turbomoleküler pompa ile yüksek vakum seviyesi
İki kademeli döner kanatlı yedekleme pompası
Tam aralıklı vakum ölçer
Alaşımlı filmler (DST3-A) ve çok katmanlı biriktirme üretimi için uygun üç adet 2" su soğutmalı açılı magnetron katot
DST3-S için büyük numune tutucu aşaması (8 inç)
Büyük substratın tekdüze biriktirilmesi için tasarlanmış katot maskesi (DST3-S)
Büyük numune depolamaya uygun geniş hazne (300 mm çap)
Çok katmanlı ince filmler için hedef seçimi
Alaşım filmleri oluşturmak için birlikte püskürtme
Gerçek zamanlı kalınlık ölçümü için iki sabit ve hareketli kuvars kristal izleme sistemi (1 nm hassasiyet)
İki MFC aracılığıyla gaz enjeksiyon kontrolü
Elektronik gaz vanaları
Katot seçim motoru
Numune döndürme, yükseklik ve eğim ayarlanabilir (3 inçlik numune tutucular için)
3 manuel veya elektronik (isteğe bağlı) shutter
Katot yönünde eğilme özelliğine sahip döner numune tutucu
Vakumu bozmadan sınırsız biriktirme süresi
Programlanabilir alt tabaka ısıtıcısı (isteğe bağlı)
300 V DC alt tabaka ön gerilimleri (isteğe bağlı)
İki yıl garanti
Otomasyon
Kaplama işlemini ve hızlı veri girişini kontrol etmek için sezgisel dokunmatik ekran
Ağ üzerinden güncellenebilen kullanıcı dostu yazılım
Yarı-Tam otomatik kaplama prosesi (opsiyonel)
Otomatik modda tekrarlanabilir, programlanabilir püskürtme işlemi
DC/RF/Yüksek akım biriktirme parametreleri dokunmatik ekran paneli (isteğe bağlı) aracılığıyla ayarlanabilir.
Manuel veya otomatik Zamanlı ve Kalınlık biriktirme
Tekrarlanabilir biriktirmeler için kaplama tariflerini saklama
Çok katmanlı ince filmler için hedef seçimi
Elektronik shutter
Otomatik katot seçimi
Alt tabaka ısıtıcısının yazılım aracılığıyla programlanması ve kontrolü
Opsiyonel Özellikler
İletken ve iletken olmayan hedeflerin biriktirilmesi için RF püskürtme
Plazma temizleyici
300 V DC alt tabaka bias voltajı
500 °C alt tabaka ısıtıcısı
Dokunmatik Ekran
DST3, Üçlü Püskürtme Kaplayıcı, biriktirme işlemi verilerini kontrol etmek ve ayarlamak için kullanıcı dostu bir yazılım kullanan 7 inç renkli dokunmatik ekran paneliyle donatılmıştır. Vakum ve kaplama sırası bilgileri dokunmatik ekranda dijital veri veya eğriler halinde izlenebilmektedir. Geçmiş sayfasına son 300 kaplama bilgisi kaydedilir.
Temiz Vakum
Vakum odası, 300 mm dış çap ve 200 mm H ile Silindirik Pyrex'tir. DST3, Üçlü Hedef Püskürtme Kaplayıcı, 1,4 m3/saat diyafram veya 6 m3/saat iki kademeli olarak desteklenen, dahili olarak monte edilmiş 90 L/s Turbomoleküler Pompa ile donatılmıştır.
Numune Tutucu
Tutucu, 3 inç (DST3-A ve DST3-S'de mevcuttur) ve 8 inç (DST3-S'de mevcuttur) olmak üzere iki boyutta yapılmıştır, ancak kullanıcı ihtiyaçlarına göre özelleştirilmiş boyut sipariş edebilir. Küçük numune tutucuların üzerinde rotasyon sırasında küçük numunelerin basit bir yöntemle tutulması için çok sayıda kelepçe mevcuttur.
Plasma Temizleyici
DST3 isteğe bağlı olarak plazma temizleyiciyle donatılabilir. Plazma arıtma/temizleme, organik maddenin substratın yüzeyinden uzaklaştırılması veya plazma adı verilen iyonize bir gaz kullanılarak işlevselleştirilmesi işlemidir. Plazma işlemi, substrat yüzeyinin ıslanabilirliğini değiştirebilir ve daha sonraki etkili biriktirmeler için hidrofilikliğini veya hidrofobikliğini geliştirebilir. Ayrıca, ince film biriktirmeden önce alt tabakaya plazma uygulanması, yüzey kirlenmelerini (C bazlı, Oksitler) ortadan kaldırır ve alt tabaka ile sonraki katmanlar arasındaki adezyonu iyileştirir.
Özellikler
Metal, Yarı İletken ve Dielektrik Filmler
Nano ve Mikroelektronik
Güneş Pili uygulamaları
Eşzamanlı Püskürtme işlemleri
GLAD Püskürtme
Optik bileşen kaplama
İnce film sensörleri
Manyetik ince film cihazları
SEM ve FE-SEM numune hazırlama için ince taneli yapısal biriktirme
Boyut ve Diğer Özellikler
Üst Vakum: 8×10-6Torr'dan az
Pompalama Hızı (l/s) 90 350
Nihai Basınç (Torr) 8×10-6 3×10-6
İnce taneli yapılar üretmek için her katot için bağımsız püskürtme kontrol oranı
Maksimum 6 mm hedef kalınlığı (destek plakası dahil)
Basınçtan bağımsız olarak biriktirme gücünün otomatik kontrolü
Mıknatısların ömrünü korumak için katot sıcaklıklarının otomatik güvenli kontrolü
Tam otomatik dokunmatik ekran kontrolü kullanılarak veriler hızla kaydedilir
Vakum basıncının ve Ar akışının veya reaktif püskürtme gazının hassas kontrolü için iki hassas Kütle Akış ölçer (MFC)
350 l/s turbo pompa için elektronik kısma valfi
Kaplama parametreleri grafiklerini kaydeder ve çizer
Eğrileri ve biriktirme prosesi verilerini bir USB portu üzerinden PC'ye aktarır
300V DC bias voltajı (isteğe bağlı)
Plazma temizleyici(isteğe bağlı)
0-1200 V, 0-500 mA DC güç kaynağı
Otomatik eşleştirme kutulu 300 W RF güç kaynağı (isteğe bağlı)
Yardımcı Programlar: 220V-110V, 50/60HZ, 16/25A
Cihaz boyutları: 600 Genişlik × 800 Derinlik × 770 Yükseklik mm (Rafsız)
Net Ağırlık: 160kg (Pompa, Raf ve Alet çantası)