VACCOAT'un düşük vakumdan yüksek vakuma PVD kaplama sistemlerinden olan DSR1 ve DST2 gibi modelleri SEM görüntüleme gibi amaçlarla altın, paladyum gibi asil metallarin kaplanması için kullanılıyor olsa da daha karmaşık ve soğutmalı sistemleri çok katmanlı yapıların oluşturulması ve araştırma-geliştirme amacıyla kullanılabiliyor. Bu cihazlar birden fazla kaplama sistemi içerebiliyor ve plazma temizlik gibi yardımcı özelliklere de sahip.